Magnetronové naprašování je nová metoda fyzikálního nanášení parou, ve srovnání s dřívější metodou odpařování jsou její výhody v mnoha ohledech zcela pozoruhodné.Magnetronové naprašování se jako vyspělá technologie používá v mnoha oblastech.
Princip magnetronového naprašování:
Mezi pól naprašovaného terče (katodu) a anodu se přidá ortogonální magnetické pole a elektrické pole a ve vysokovakuové komoře se naplní požadovaný inertní plyn (obvykle plyn Ar).Permanentní magnet vytváří magnetické pole o síle 250-350 gausů na povrchu materiálu terče a ortogonální elektromagnetické pole se skládá z elektrického pole vysokého napětí.Působením elektrického pole, ionizace Ar plynu na kladné ionty a elektrony, terč a má určitý podtlak, z terče od pólu účinkem magnetického pole a pravděpodobnosti ionizace pracovního plynu se zvyšuje, tvoří plazma o vysoké hustotě v blízkosti katoda, Ar iont působením Lorentzovy síly, zrychlení k letu na cílový povrch, ostřelování cílového povrchu vysokou rychlostí, Naprašované atomy na cíli se řídí principem konverze hybnosti a odlétají od cílového povrchu s vysokou kinetickou energie do depozičního filmu substrátu.
Magnetronové naprašování se obecně dělí na dva druhy: DC naprašování a RF naprašování.Princip zařízení pro stejnosměrné naprašování je jednoduchý a rychlost je při naprašování kovu vysoká.Využití RF naprašování je rozsáhlejší, kromě naprašování vodivých materiálů také naprašování nevodivých materiálů, ale také reaktivní naprašování příprava oxidů, nitridů a karbidů a dalších směsných materiálů.Pokud se frekvence RF zvýší, stane se mikrovlnným plazmovým rozprašováním.V současnosti se běžně používá mikrovlnné plazmové naprašování typu elektronové cyklotronové rezonance (ECR).
Materiál magnetronového naprašovacího terče:
Materiál kovových rozprašovacích terčů, naprašovací materiály z povlakové slitiny, keramické naprašovací materiály, materiály boridových keramických naprašovacích terčů, materiál karbidových keramických naprašovacích terčů, fluoridové keramické materiály naprašovacích terčů, materiály nitridových keramických naprašovacích terčů, oxidové keramické terče, materiál selenidových keramických naprašovacích terčů, materiály silicidové keramické rozprašovací elektrody, sulfidová keramická rozprašovací elektroda, teluridová keramická rozprašovací elektroda, jiná keramická elektroda, keramický terč z oxidu křemíku dopovaného chromem (CR-SiO), fosfidový terč india (InP), arsenid olovnatý (PbAs), arsenid india cíl (InAs).
Čas odeslání: srpen-03-2022