Nyní stále více uživatelů chápe typy cílů ajeho použití, ale jeho rozdělení nemusí být příliš jasné.Teď pojďmeinženýr RSM sdílet s tebounějaká indukce magnetronových rozprašovacích terčů.
Naprašovací terč: kovový naprašovací terč, slitinový naprašovací terč, keramický naprašovací terč, boridový keramický naprašovací terč, karbidový keramický naprašovací terč, fluoridový keramický naprašovací terč, nitridový keramický naprašovací terč, oxidový keramický terč, selenidový keramický naprašovací terč, silicidový keramický naprašovací terč terč, sulfidový keramický naprašovací terč, teluridový keramický naprašovací terč, jiné keramické terče, keramický terč z oxidu křemíku dopovaného chrómem (CR SiO), terčík z fosfidu india (INP), terčík z arsenidu olovnatého (pbas), terčík z arsenidu india (InAs).
Magnetronové naprašování se obecně dělí na dva typy: DC naprašování a RF naprašování.Princip stejnosměrného naprašovacího zařízení je jednoduchý a jeho rychlost je také rychlá při naprašování kovu.RF naprašování je široce používáno.Kromě naprašování vodivých dat dokáže rozprášit i nevodivá data.Rozprašovací elektroda může být také použita pro reaktivní naprašování pro přípravu dat sloučenin, jako jsou oxidy, nitridy a karbidy.Pokud se frekvence RF zvýší, stane se mikrovlnným plazmovým rozprašováním.V současnosti se běžně používá mikrovlnné plazmové naprašování elektronovou cyklotronovou rezonancí (ECR).
Čas odeslání: 26. května 2022