Vakuové pokovování při výběru materiálů pro naprašovací terče je v současné době pro lidi problémem, protože o naprašovacím povlaku, zejména o rozvoji dovedností magnetronového naprašovacího povlaku, lze říci, že pro jakoukoli informaci je možné zaměřit přípravu materiálů na tenké vrstvy. iontovým bombardováním, protože naprašování materiálu terče v procesu nanášení povlaku na druh substrátu má důležitý vliv na kvalitu naprašovacího filmu. Požadavky na materiál terče jsou proto přísnější.Zde se společně s editorem Beijing Relaxation seznámíme s rolí naprašovacího terče ve vakuovém nanášení
一、Princip výběru a klasifikace cílového materiálu
Při výběru cílového materiálu by se kromě použití samotného filmu mělo zvážit také následující problémy:
Problém 1. Podle použití a požadavků na výkon membrány je nutné, aby cílový materiál vyhovoval technickým požadavkům na čistotu, obsah zásobníku, stejnoměrnost součásti, přesnost obrábění a tak dále.
Problém 2. Materiál terče by měl mít po vytvoření filmu dobrou mechanickou pevnost a chemickou stabilitu;
Problém 3. Je nutné, aby filmový materiál snadno vytvořil složený film s reakčním plynem jako reaktivním rozprašovacím filmem;
Problém 4. Je nutné nastavit terč a matrici tak, aby byly pevné, jinak by měl být použit filmový materiál s dobrou přilnavostí k matrici, nejprve naprášit vrstvu spodního filmu a poté připravit požadovanou vrstvu filmu;
Otázka 5. Za předpokladu splnění výkonnostních požadavků fólie, čím menší je rozdíl mezi koeficientem tepelné roztažnosti terče a matrice, tím lépe, aby se snížil vliv tepelného namáhání naprašovací fólie;
Příprava několika běžně používaných cílů
(1) cr cíl
Chrom jako naprašovací filmový materiál je nejen snadno kombinovatelný se základním materiálem, má vysokou přilnavost, chrom a oxidový CrQ3 film, jeho mechanické vlastnosti, odolnost vůči kyselinám a tepelná stabilita jsou lepší.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. se zabývá především: titanovým terčíkem zirkonovým terčem, hliníkovým terčem, niklovým terčíkem, chromovým terčem, wolframovým terčem, molybdenovým terčem, měděným terčíkem, křemíkovým terčíkem, niobovým terčem, tantalovým terčem, slitinou titanu a křemíku terčík, terčík ze slitiny titanu a niobu, terčík ze slitiny titanu a wolframu, terč ze slitiny titanu a zirkonu, terč ze slitiny niklu a chrómu, terčík ze slitiny křemíku a hliníku, terčík ze slitiny niklu a vanadu, terčík z ternární slitiny chrom-hliník-křemík，Ti al si terčový materiál ternární slitiny, široce používaný v dekoraci / tvrdém povrchu a funkčním povlaku, architektonickém skle, plochém displeji / optickém fotoelektrickém, optickém ukládání, elektronice, tisku a dalších profesích.
Čas odeslání: Jun-02-2022