Naprašovací terč z titanové slitiny a titanový kov jsou složeny z titanu, takže informace jsou zhruba stejné, ale rozdíl mezi těmito dvěma spočívá hlavně v tom, že naprašovací terč z titanové slitiny je vyroben z kovového titanu několika způsoby a titan se v přírodě vyskytuje jako titanová ruda. terče ze slitiny titanu mohou být široce používány v mnoha pracovních kategoriích, autor nyní v Pekingu Richmat shrnul několik běžných terčů z titanové slitiny z hlediska použití situace, aby nám poskytl podrobný úvod.
一、Ti terče pro integrované obvody
Požadavky na naprašovací terče z titanové slitiny se u neintegrovaných obvodů a integrovaných obvodů liší.Obecně platí, že integrované obvody mají vyšší požadavky na data povlakování, jako je vyšší čistota, menší velikost zrna a přesnější přesnost měřítka. Čistota titanových terčů v integrovaných obvodech je vyšší než 99,995 %, což je vyšší než u neintegrovaných obvodů, což naznačuje, že různá použití požadavků na titanové terče jsou velmi odlišné.
二、Ti cíl pro plochý displej
Mezi terče z titanové slitiny používané v plochých panelových displejích patří displej s tekutými krystaly, plazmový displej, elektroluminiscenční displej a displej s emisemi pole. Tenký film plochého displeje je metodou tváření naprašováním, Al, Cu, Ti a Mo jsou primární kovové rozprašovací terče pro ploché panely. Čistota terčů z titanové slitiny pro ploché panely je obvykle vyšší než 99,9 %.
三、Ti terče pro dekorativní materiály
Vysoce čistý terčový materiál z titanové slitiny má vynikající odolnost proti korozi vzduchu, dlouhodobé používání ve vzduchu nemění barvu, aby byla zajištěna původní barva titanu a kontakt s lidmi není alergický a další vynikající vlastnosti.Proto lze titan vysoké čistoty použít také jako dekorativní materiály, v posledních letech, jako jsou náramky, hodinky a brýle a další ozdoby, dosáhla čistota titanu úrovně 5N.
四、Ti cíle pro systémy ultravysokého vakua
Jako chemicky aktivní kov může titan reagovat s mnoha prvky a sloučeninami při vysoké teplotě.Terč z titanové slitiny s vysokou čistotou má silnou adsorpční kapacitu pro aktivní plyny (jako je O2, N2, CO, CO2, vodní pára nad 650 °C) a Ti film odpařující se na stěně čerpadla může vytvořit povrch s vysokým adsorpčním výkonem. .Díky této vlastnosti je Ti široce používán jako getr v systému extrakce plynu s ultravysokým vakuem. Pokud se použije ke zlepšení vývěvy, rozprašovací iontové pumpy atd., může dosáhnout maximálního provozního tlaku rozprašovací iontové pumpy až 10-9PA.
Čas odeslání: 25. dubna 2022