Mnoho uživatelů jistě slyšelo o produktu naprašovacího terče, ale princip naprašovacího terče by měl být poměrně neznámý.Nyní, redaktorBohatý speciální materiál (RSM) sdílí principy magnetronového naprašování jako rozprašovací elektrody.
Mezi naprašovanou elektrodu (katodu) a anodu se přidá ortogonální magnetické pole a elektrické pole, do vysokovakuové komory se naplní požadovaný inertní plyn (obecně plyn Ar), permanentní magnet vytvoří magnetické pole 250 ~ 350 Gaussů na povrch cílových dat a ortogonální elektromagnetické pole se tvoří s elektrickým polem vysokého napětí.
Působením elektrického pole se plyn Ar ionizuje na kladné ionty a elektrony.K terči je přidáno určité záporné vysoké napětí.Vliv magnetického pole na elektrony emitované z cílového pólu a pravděpodobnost ionizace pracovního plynu se zvyšují a v blízkosti katody se vytvoří plazma s vysokou hustotou.Pod účinkem Lorentzovy síly se ionty Ar urychlují k povrchu cíle a bombardují povrch cíle velmi vysokou rychlostí. Rozprašované atomy na cíli se řídí principem konverze hybnosti a odlétají od povrchu cíle k substrátu s vysokou kinetickou energií. ukládat filmy.
Magnetronové naprašování se obecně dělí na dva typy: Přítokové naprašování a RF naprašování.Princip přídavného naprašovacího zařízení je jednoduchý a jeho rychlost je také rychlá při naprašování kovu.RF naprašování je široce používáno.Kromě naprašování vodivých materiálů dokáže naprašovat i materiály nevodivé.Současně také provádí reaktivní naprašování pro přípravu materiálů oxidů, nitridů, karbidů a dalších sloučenin.Pokud se RF frekvence zvýší, stane se mikrovlnným plazmovým rozprašováním.Nyní se běžně používá mikrovlnné plazmové naprašování s elektronovou cyklotronovou rezonancí (ECR).
Čas odeslání: 31. května 2022