Terč má mnoho funkcí a široké uplatnění v mnoha oblastech.Nové naprašovací zařízení téměř používá silné magnety ke spirálovému pohybu elektronů k urychlení ionizace argonu kolem cíle, což zvyšuje pravděpodobnost kolize mezi cílem a ionty argonu,
Zvyšte rychlost rozprašování.Obecně se DC naprašování používá pro potahování kovů, zatímco RF komunikační naprašování se používá pro nevodivé keramické magnetické materiály.Základním principem je použití doutnavého výboje k zasažení argonových (AR) iontů na povrchu terče ve vakuu a kationty v plazmatu se zrychlí, aby spěchaly na povrch negativní elektrody jako rozstřikovaný materiál.Tento náraz způsobí, že materiál terče vyletí ven a uloží se na substrát za vzniku filmu.
Obecně existuje několik vlastností nanášení filmu pomocí procesu naprašování:
(1) Z kovu, slitiny nebo izolantu lze vytvořit data ve formě tenkého filmu.
(2) Za vhodných podmínek nastavení může být film se stejným složením vyroben z více a neuspořádaných cílů.
(3) Směs nebo sloučeninu materiálu terče a molekul plynu lze vyrobit přidáním kyslíku nebo jiných aktivních plynů do atmosféry výboje.
(4) Cílový vstupní proud a dobu rozprašování lze řídit a je snadné získat vysoce přesnou tloušťku filmu.
(5) Je to přínosné pro výrobu jiných filmů.
(6) Naprašované částice jsou jen stěží ovlivněny gravitací a terč a substrát lze volně organizovat.
Čas odeslání: 24. května 2022