O aplikaci a principu technologie naprašovacích terčů někteří zákazníci konzultovali RSM, nyní o tomto problému, který je více znepokojen, techničtí odborníci sdílejí některé specifické související znalosti.
Aplikace naprašovacího terče:
Nabíjející se částice (jako jsou argonové ionty) bombardují pevný povrch, což způsobuje, že povrchové částice, jako jsou atomy, molekuly nebo svazky, unikají z povrchu objektu fenoménu zvaného „rozprašování“.V magnetronovém naprašovacím povlaku se kladné ionty generované argonovou ionizací obvykle používají k bombardování pevné látky (cíle) a naprašované neutrální atomy se ukládají na substrát (obrobek) za vzniku filmové vrstvy.Magnetronový naprašovací povlak má dvě vlastnosti: „nízká teplota“ a „rychlá“.
Princip magnetronového naprašování:
Mezi pól naprašovaného terče (katodu) a anodu se přidá ortogonální magnetické pole a elektrické pole a ve vysokovakuové komoře se naplní požadovaný inertní plyn (obvykle plyn Ar).Permanentní magnet vytváří magnetické pole 250-350 Gauss na povrchu materiálu terče a tvoří ortogonální elektromagnetické pole s elektrickým polem vysokého napětí.
Působením elektrického pole se plyn Ar ionizuje na kladné ionty a elektrony a na cíl je určitý podtlak, takže elektrony emitované z pólu cíle jsou ovlivněny magnetickým polem a pravděpodobností ionizace pracovního plyn se zvyšuje.V blízkosti katody se vytváří plazma o vysoké hustotě a Ar ionty se působením Lorentzovy síly urychlují k povrchu cíle a bombardují povrch cíle vysokou rychlostí, takže rozprášené atomy na terči unikají z povrchu cíle s vysokou rychlostí. kinetickou energii a letět k substrátu za vzniku filmu podle principu přeměny hybnosti.
Magnetronové naprašování se obecně dělí na dva druhy: DC naprašování a RF naprašování.Princip zařízení pro stejnosměrné naprašování je jednoduchý a rychlost je při naprašování kovu vysoká.Využití RF naprašování je rozsáhlejší, kromě naprašování vodivých materiálů také naprašování nevodivých materiálů, ale také reaktivní naprašování příprava oxidů, nitridů a karbidů a dalších směsných materiálů.Pokud se frekvence RF zvýší, stane se mikrovlnným plazmovým rozprašováním.V současnosti se běžně používá mikrovlnné plazmové naprašování typu elektronové cyklotronové rezonance (ECR).
Čas odeslání: srpen-01-2022