Žáruvzdorné wolframové kovy a slitiny wolframu mají výhody vysoké teplotní stability, vysoké odolnosti vůči migraci elektronů a vysokého koeficientu emise elektronů.Vysoce čisté terče z wolframu a slitiny wolframu se používají hlavně k výrobě hradlových elektrod, spojovacích vodičů, difúzních bariérových vrstev polovodičových integrovaných obvodů.Mají velmi vysoké požadavky na čistotu, obsah příměsových prvků, hustotu, zrnitost a stejnoměrnou zrnitost materiálů.Pojďme se podívat na faktory ovlivňující přípravu vysoce čistého wolframového terčeby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Vliv teploty slinování
Proces formování wolframového cílového embrya se obvykle provádí studeným izostatickým tlakem.Wolframové zrno během slinování vyroste.Růst wolframového zrna vyplní mezeru mezi hranicemi krystalů, čímž se zvýší hustota wolframového cíle.S rostoucí dobou slinování se nárůst hustoty wolframového terče postupně zpomaluje.Hlavním důvodem je, že kvalita materiálu wolframových terčů se po několika procesech slinování příliš nezměnila.Protože většina dutin v rozhraní krystalu je vyplněna krystaly wolframu, je celková rychlost změny velikosti wolframového terče po každém procesu slinování velmi malá, což má za následek omezený prostor pro zvýšení hustoty wolframového terče.Jak slinování postupuje, velká zrna wolframu se plní do dutin, což má za následek hustší cíl s menší velikostí.
2. Účinekhjíst konzervační čas
Při stejné teplotě slinování se zvyšuje kompaktnost materiálu wolframové elektrody se zvyšující se dobou slinování.S prodlužující se dobou slinování se zvětšuje velikost zrna wolframu a s prodlužováním doby slinování se růstový faktor velikosti zrna postupně zpomaluje.To ukazuje, že zvýšení doby slinování může také zlepšit výkon wolframového terče.
3. Vliv rolování na cíl Pvýkonnost
Aby se zlepšila hustota materiálů wolframových terčů a získala se struktura zpracování materiálů wolframových terčů, musí být válcování materiálů wolframových terčů prováděno při střední teplotě pod teplotou rekrystalizace.Když je teplota válcování cílového polotovaru vysoká, struktura vláken cílového polotovaru je tlustší, zatímco struktura cílového polotovaru je jemnější.Když je výtěžnost válcování za tepla vyšší než 95 %.I když bude eliminován rozdíl ve struktuře vláken způsobený rozdílnou teplotou slinování původního zrna nebo válcováním, uvnitř terče se vytvoří homogennější struktura vlákna, takže čím vyšší je rychlost zpracování válcování za tepla, tím lepší je výkon terče.
Čas odeslání: květen-05-2022