Materiály naprašovaných elektrod mají při používání vysoké požadavky nejen na čistotu a velikost částic, ale také na jednotnou velikost částic.Tyto vysoké požadavky nás nutí věnovat větší pozornost používání materiálů pro naprašovací terče.
1. Příprava naprašováním
Je velmi důležité udržovat čistotu vakuové komory, zejména naprašovacího systému.Maziva, prach a jakékoli zbytky z předchozích nátěrů mohou akumulovat znečišťující látky, jako je voda, přímo ovlivňující vakuum a zvyšující pravděpodobnost selhání tvorby filmu.Zkraty, jiskření terče, drsné povrchy tvořící film a nadměrné chemické nečistoty jsou obvykle způsobeny nečistými rozprašovacími komorami, pistolemi a terči.
Aby byly zachovány kompoziční charakteristiky povlaku, musí být rozprašovací plyn (argon nebo kyslík) čistý a suchý.Po instalaci substrátu do naprašovací komory je třeba odsát vzduch, aby se dosáhlo požadované úrovně vakua pro proces.
2. Cílové čištění
Účelem čištění terče je odstranit veškerý prach nebo nečistoty, které mohou existovat na povrchu terče.
3. Cílová instalace
Nejdůležitější věcí, které je třeba věnovat pozornost při procesu instalace materiálu terče, je zajistit dobré tepelné spojení mezi materiálem terče a chladicí stěnou naprašovací pistole.Pokud je chladicí stěna nebo zadní deska silně zdeformovaná, může to způsobit prasknutí nebo ohnutí během instalace cílového materiálu.Přenos tepla ze zadního terče do materiálu terče bude značně ovlivněn, což má za následek neschopnost odvádět teplo během naprašování, což nakonec vede k praskání nebo odchylce materiálu terče.
4. Kontrola zkratu a těsnění
Po instalaci materiálu terče je nutné zkontrolovat zkrat a utěsnění celé katody.Ke zjištění, zda není katoda zkratována, se doporučuje použít ohmmetr a megaohmmetr.Po potvrzení, že katoda není zkratována, lze provést detekci netěsnosti vstřikováním vody do katody, aby se zjistilo, zda došlo k nějakému úniku.
5. Materiál terče před naprašováním
Pro předběžné naprašování materiálu terče se doporučuje použít čistý argon, který dokáže vyčistit povrch materiálu terče.Doporučuje se pomalu zvyšovat naprašovací výkon během procesu předběžného naprašování pro materiál terče.Síla materiálu keramického terče
Čas odeslání: 19. října 2023