Vzhledem k vysoké teplotní stabilitě, vysokému odporu elektronové migrace a vysokému koeficientu elektronové emise žáruvzdorných wolframových a wolframových slitin se vysoce čisté terče z wolframu a wolframových slitin používají hlavně k výrobě hradlových elektrod, spojovacích vodičů, difuzních bariérových vrstev atd. polovodičů integrované obvody a mají vysoké požadavky na čistotu, obsah příměsových prvků, hustotu, zrnitost a stejnoměrnost zrnitosti materiálů.Nyní se podívejme na faktory, které ovlivňují přípravu vysoce čistého wolframového terče.
1、 Vliv teploty slinování
Proces formování wolframového cílového embrya se obecně vyrábí izostatickým lisováním za studena.Wolframové zrno bude během procesu slinování růst.Růst wolframového zrna vyplní mezeru mezi hranicemi zrn, čímž se zlepší hustota wolframového terče.S prodlužováním dob slinování se růst hustoty wolframových terčů postupně zpomaluje.Hlavním důvodem je, že po vícenásobném slinování se kvalita wolframového terče příliš nezměnila.Protože většina dutin na hranici zrn je vyplněna krystaly wolframu, po každém slinování byla celková rychlost změny velikosti wolframového terče velmi malá, což má za následek omezený prostor pro zvýšení hustoty wolframového terče.Procesem slinování se vyrostlá zrna wolframu vyplňují do dutin, což má za následek vyšší hustotu terče s menší velikostí částic.
2、 Vliv doby držení
Při stejné teplotě slinování se zlepší kompaktnost wolframového terče s prodloužením doby zdržení slinování.S prodlužováním doby výdrže se bude zvětšovat velikost zrna wolframu a s prodlužováním doby výdrže se postupně zpomalují doby růstu velikosti zrna, což znamená, že zvýšení doby výdrže může také zlepšit výkon wolframový terč.
3、 Vliv rolování na vlastnosti cíle
Aby se zlepšila hustota materiálu wolframové terče a získala se struktura zpracování materiálu wolframové terče, musí být válcování materiálu wolframové terče při střední teplotě prováděno pod teplotou rekrystalizace.Pokud je teplota válcování cílového bloku vysoká, vláknitá struktura cílového bloku bude hrubá a naopak.Když rychlost válcování za tepla dosáhne více než 95 %.I když bude eliminován rozdíl ve struktuře vlákna způsobený různými původními zrny nebo různými teplotami válcování, vnitřní struktura terče vytvoří relativně jednotnou strukturu vlákna, takže čím vyšší je rychlost zpracování válcování za tepla, tím lepší je výkon terče.
Čas odeslání: 15. února 2023