Materiál terče používaný v průmyslu ukládání dat vyžaduje vysokou čistotu a nečistoty a póry musí být minimalizovány, aby se zabránilo tvorbě částic nečistot během naprašování.Cílový materiál používaný pro vysoce kvalitní produkty vyžaduje, aby velikost jeho krystalových částic byla malá a stejnoměrná a neměla žádnou krystalovou orientaci.Níže se podívejme na požadavky průmyslu optických úložišť na cílový materiál?
1. Čistota
V praktických aplikacích se čistota cílových materiálů liší podle různých průmyslových odvětví a požadavků.Celkově však platí, že čím vyšší je čistota materiálu terče, tím lepší je výkon naprašovaného filmu.Například v odvětví optických úložišť se požaduje, aby čistota cílového materiálu byla vyšší než 3N5 nebo 4N
2. Obsah nečistot
Materiál terče slouží jako zdroj katody při naprašování a nečistoty v pevné látce a kyslík a vodní pára v pórech jsou hlavními zdroji znečištění pro ukládání tenkých filmů.Kromě toho existují speciální požadavky na cíle různého použití.Vezmeme-li jako příklad odvětví optického ukládání dat, obsah nečistot v naprašovacích terčích musí být řízen velmi nízko, aby byla zajištěna kvalita povlaku.
3. Velikost zrna a distribuce velikosti
Obvykle má terčový materiál polykrystalickou strukturu s velikostí zrn v rozmezí od mikrometrů do milimetrů.U terčů se stejným složením je rychlost rozprašování jemnozrnných terčů rychlejší než u hrubozrnných terčů.U terčů s menšími rozdíly ve velikosti zrna bude tloušťka naneseného filmu také rovnoměrnější.
4. Kompaktnost
Aby se snížila poréznost v materiálu pevné elektrody a zlepšila se výkonnost filmu, je obecně požadováno, aby materiál rozprašovací elektrody měl vysokou hustotu.Hustota cílového materiálu závisí především na procesu přípravy.Materiál terče vyrobený metodou tavení a odlévání může zajistit, že uvnitř materiálu terče nejsou žádné póry a že hustota je velmi vysoká.
Čas odeslání: 18. července 2023