Mnoho přátel o údržbě cíle existuje více či méně otázek, v poslední době existuje také mnoho zákazníků, kteří konzultují problémy související s údržbou cíle, dovolte editorovi RSM, abychom se podělili o znalosti o údržbě naprašovacích cílů.
Jak by se měly udržovat rozprašovací terče?
1、 Cílová údržba
Aby se zabránilo zkratu a jiskření způsobenému nečistou dutinou v procesu naprašování, je nutné pravidelně odstraňovat rozprašovače nahromaděné ve středu a na obou stranách naprašovací dráhy, což také pomáhá uživatelům kontinuálně naprašovat při vysoké hustotě výkonu.
2、 Cílové úložiště
Doporučujeme uživatelům, aby terč (ať už kovový nebo keramický) skladovali ve vakuovém balení, zejména terč tvarovky musí být skladován ve vakuu, aby oxidace vrstvy tvarovky neovlivnila kvalitu tvarovky.Co se týče balení kovových terčů, doporučujeme je balit minimálně do čistých plastových sáčků.
3、 Cílové čištění
Prvním krokem je čištění měkkým hadříkem, který nepouští vlákna, namočeným v acetonu;
Druhý krok je podobný prvnímu, čištění alkoholem;
Krok 3: Vyčistěte deionizovanou vodou.Po vyčištění deionizovanou vodou se terč vloží do sušárny a suší se při 100 °C po dobu 30 minut.K čištění oxidových a keramických terčů se doporučuje používat hadřík nepouštějící vlákna.
Čtvrtým krokem je omytí terče argonem s vysokým tlakem a nízkou vlhkostí, aby se odstranily všechny nečisté částice, které mohou způsobit oblouk v naprašovacím systému.
4、 Kontrola zkratu a těsnosti
Po instalaci terče je potřeba zkontrolovat zkrat a těsnost celé katody.Zda nedošlo ke zkratu v katodě, se doporučuje posoudit pomocí měřiče odporu a meggeru.Po potvrzení, že v katodě nedochází ke zkratu, lze provést kontrolu úniku vody a do katody lze zavést vodu, aby se zjistilo, zda dochází k úniku vody.
5、 Balení a doprava
Všechny terče jsou baleny ve vakuově uzavřených plastových sáčcích s prostředkem odolným proti vlhkosti.Vnější obal je obecně dřevěná krabice s antikolizní vrstvou, která chrání cíl a zadní desku před poškozením během přepravy a skladování.
Čas odeslání: 15. července 2022