Nyní musíme být velmi obeznámeni s cílem, nyní se také zvyšuje cílový trh, následující je hlavní výkon naprašovacího terče sdíleného editorem z RSM
ta čistota
Čistota materiálu terče je jedním z hlavních ukazatelů výkonnosti, protože čistota materiálu terče má velký vliv na výkonnost tenkého filmu.V praktické aplikaci však požadavky na čistotu cílových materiálů nejsou stejné.Například s rychlým rozvojem mikroelektronického průmyslu byla velikost křemíkového čipu vyvinuta z 6“, 8“ na 12″ a šířka vodičů byla snížena z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um nebo dokonce 0,13 um.Dříve čistota 99,995 % cílového materiálu mohla splnit procesní požadavky 0,35 umIC.Čistota cílového materiálu je 99,999 % nebo dokonce 99,9999 % pro přípravu 0,18um linií.
Obsah nečistot
Nečistoty v cílové pevné látce a kyslík a vodní pára v pórech jsou hlavními zdroji znečištění usazování filmu.Cílové materiály pro různé účely mají různé požadavky na různý obsah nečistot.Například terče z čistého hliníku a slitin hliníku používané v polovodičovém průmyslu mají speciální požadavky na obsah alkalických kovů a radioaktivních prvků.
Hustota
Aby se snížila poréznost v pevné látce terče a zlepšila se výkonnost naprašovacího filmu, je obvykle vyžadována vysoká hustota terče.Hustota terče ovlivňuje nejen rychlost rozprašování, ale také elektrické a optické vlastnosti filmu.Čím vyšší je cílová hustota, tím lepší je výkon filmu.Navíc zvýšení hustoty a pevnosti terče umožňuje terč lépe odolávat tepelnému namáhání v procesu naprašování.Hustota je také jedním z klíčových výkonnostních indexů cíle.
Velikost zrna a distribuce velikosti zrn
Terč je obvykle polykrystalický s velikostí zrna od mikrometru do milimetru.U stejného terče je rychlost rozprašování terče s malými zrny vyšší než u terče s velkými zrny.Distribuce tloušťky filmů nanesených rozprašovací elektrodou s menším rozdílem velikosti zrn (rovnoměrné rozložení) je rovnoměrnější.
Čas odeslání: srpen-04-2022