Pokud jde o cílový produkt, aplikační trh je nyní stále širší, ale stále existují někteří uživatelé, kteří použití cíle příliš nerozumí, nechejte odborníky z oddělení technologie RSM, aby jej podrobně představili,
1. Mikroelektronika
Ve všech aplikačních odvětvích má polovodičový průmysl nejnáročnější požadavky na kvalitu cílového naprašovacího filmu.Nyní byly vyrobeny křemíkové plátky 12 palců (300 epistaxí).Šířka propojení se zmenšuje.Výrobci křemíkových plátků vyžadují velké rozměry, vysokou čistotu, nízkou segregaci a jemnou zrnitost terče, což vyžaduje lepší mikrostrukturu vyrobeného terče.
2, displej
Plochý displej (FPD) v průběhu let výrazně ovlivnil trh počítačových monitorů a televizorů založený na katodové trubici (CRT) a bude také řídit poptávku po technologiích a trhu po materiálech ITO.Existují dva druhy cílů iTO.Jedním je použití nanometrového stavu prášku oxidu india a oxidu cínu po slinování, druhým je použití terče ze slitiny india a cínu.
3. Skladování
Pokud jde o technologii ukládání, vývoj pevných disků s vysokou hustotou a velkou kapacitou vyžaduje velké množství obřích reluktančních filmových materiálů.Vícevrstvá kompozitní fólie CoF~Cu je široce používaná struktura obří reluktanční fólie.Materiál terče ze slitiny TbFeCo potřebný pro magnetický disk je stále ve vývoji.Magnetický disk vyrobený s TbFeCo se vyznačuje velkou úložnou kapacitou, dlouhou životností a opakovaným bezkontaktním stíráním.
Vývoj cílového materiálu:
Různé typy naprašovacích tenkovrstvých materiálů byly široce používány v polovodičových integrovaných obvodech (VLSI), optických discích, planárních displejích a povrchových nátěrech obrobků.Od 90. let 20. století synchronní vývoj materiálu naprašovacích terčů a technologie naprašování velmi vyhovoval potřebám vývoje různých nových elektronických součástek.
Čas odeslání: srpen-08-2022