Všichni víme, že naprašování je jednou z hlavních technologií přípravy filmových materiálů.Využívá ionty produkované zdrojem iontů k urychlení agregace ve vakuu k vytvoření vysokorychlostního iontového paprsku, který bombarduje pevný povrch a ionty si vyměňují kinetickou energii s atomy na pevném povrchu, takže atomy na pevném povrchu povrch opustí pevnou látku a usadí se na povrchu substrátu.Bombardovaná pevná látka je surovinou pro nanášení filmu naprašováním, které se nazývá rozprašovací terč.
Různé typy naprašovaných filmových materiálů byly široce používány v polovodičových integrovaných obvodech, záznamových médiích, planárním displeji, povrchovém povlaku nástrojů a matric a tak dále.
Naprašovací terče se používají hlavně v elektronickém a informačním průmyslu, jako jsou integrované obvody, úložiště informací, displeje z tekutých krystalů, laserové paměti, elektronická řídicí zařízení atd.;Může být také použit v oblasti potahování skla;Může být také použit v materiálech odolných proti opotřebení, odolnosti proti vysoké teplotě, dekorativních výrobcích a dalších průmyslových odvětvích.
Existuje mnoho druhů naprašovacích terčů a existují různé metody pro klasifikaci terčů:
Podle složení jej lze rozdělit na kovový terč, terč ze slitiny a terč z keramické sloučeniny.
Podle tvaru jej lze rozdělit na dlouhý terč, čtvercový terč a kulatý terč.
Lze jej rozdělit na mikroelektronický terč, magnetický záznamový terč, optický diskový terč, terč z drahých kovů, terč s filmovým odporem, vodivý filmový terč, terč pro úpravu povrchu, maskovací terč, terč dekorativní vrstvy, elektrodový terč a další terče podle aplikačního pole.
Podle různých aplikací jej lze rozdělit na polovodičové keramické terče, keramické terče se záznamovým médiem, zobrazovací keramické terče, supravodivé keramické terče a obří magnetorezistentní keramické terče.
Čas odeslání: 29. července 2022