1. Metoda magnetronového naprašování:
Magnetronové naprašování lze rozdělit na DC naprašování, středofrekvenční naprašování a RF naprašování
Odpověď: Napájecí zdroj DC naprašování je levný a hustota naneseného filmu je nízká.Obecně se domácí fototermické a tenkovrstvé baterie používají s nízkou energií a rozprašovacím terčem je vodivý kovový terč.
B. RF rozprašovací energie je vysoká a rozprašovací elektrodou může být nevodivá elektroda nebo vodivá elektroda.
C. Středofrekvenční rozprašovací terč může být keramický terč nebo kovový terč.
2. Klasifikace a použití naprašovacích terčů
Existuje mnoho druhů naprašovacích terčů a metody klasifikace terčů jsou také různé.Podle tvaru se dělí na dlouhý terč, čtvercový terč a kulatý terč;Podle složení jej lze rozdělit na kovový terč, terč ze slitiny a terč z keramické sloučeniny;Podle různých aplikačních oblastí je lze rozdělit na polovodičové keramické terče, keramické terče se záznamovým médiem, zobrazovací keramické terče atd. Naprašovací terče se používají hlavně v elektronickém a informačním průmyslu, jako je průmysl ukládání informací.V tomto odvětví se naprašovací terče používají k přípravě příslušných tenkovrstvých produktů (pevný disk, magnetická hlava, optický disk atd.).V současnosti.S neustálým rozvojem informačního průmyslu se na trhu zvyšuje poptávka po keramických terčích pro záznamová média.Výzkum a výroba terčů záznamových médií se staly středem široké pozornosti.
Čas odeslání: 11. května 2022