Nedávno se mnoho přátel ptalo na vlastnosti molybdenových naprašovacích terčů.Jaké jsou požadavky na vlastnosti molybdenových naprašovacích terčů v elektronickém průmyslu, aby se zlepšila účinnost naprašování a zajistila se kvalita nanášených filmů?Nyní nám to techničtí experti z RSM vysvětlí.
1. Čistota
Vysoká čistota je základním charakteristickým požadavkem molybdenové rozprašovací elektrody.Čím vyšší je čistota molybdenového terče, tím lepší je výkon naprašovaného filmu.Obecně by čistota molybdenové rozprašovací elektrody měla být alespoň 99,95 % (hmotnostní zlomek, stejný níže).S neustálým zlepšováním velikosti skleněného substrátu v průmyslu LCD je však nutné prodlužovat délku kabeláže a ztenčovat šířku vedení.Aby byla zajištěna stejnoměrnost filmu a kvalita elektroinstalace, je rovněž požadováno odpovídající zvýšení čistoty molybdenového naprašovacího terče.Proto je v závislosti na velikosti naprašovaného skleněného substrátu a prostředí použití požadována čistota molybdenového naprašovacího terče 99,99 % – 99,999 % nebo dokonce vyšší.
Molybdenová naprašovací elektroda se používá jako katodový zdroj při naprašování.Nečistoty v pevné látce a kyslík a vodní pára v pórech jsou hlavními zdroji znečištění deponovaných filmů.Navíc v elektronickém průmyslu, protože ionty alkalických kovů (Na, K) se snadno stávají pohyblivými ionty v izolační vrstvě, je výkon původního zařízení snížen;Prvky jako uran (U) a titan (TI) budou uvolňovány α rentgenovým zářením, což povede k měkkému rozpadu zařízení;Ionty železa a niklu způsobí netěsnost rozhraní a zvýšení obsahu kyslíkových prvků.Proto v procesu přípravy molybdenové rozprašovací elektrody musí být tyto příměsi přísně kontrolovány, aby se minimalizoval jejich obsah v elektrodě.
2. Velikost zrna a distribuce velikosti
Molybdenový rozprašovací terč má obecně polykrystalickou strukturu a velikost zrna se může pohybovat od mikronu do milimetru.Experimentální výsledky ukazují, že rychlost rozprašování jemnozrnného terče je rychlejší než u hrubozrnného terče;U terče s malým rozdílem velikosti zrn je distribuce tloušťky naneseného filmu také rovnoměrnější.
3. Orientace krystalů
Protože atomy terče lze během naprašování snadno přednostně naprašovat ve směru nejbližšího uspořádání atomů v hexagonálním směru, aby se dosáhlo nejvyšší rychlosti naprašování, často se rychlost naprašování zvyšuje změnou krystalové struktury elektrody.Směr krystalu terče má také velký vliv na rovnoměrnost tloušťky naprašovaného filmu.Proto je velmi důležité získat určitou krystalově orientovanou strukturu terče pro proces naprašování filmu.
4. Zahušťování
V procesu naprašování, kdy je rozprašovací terč o nízké hustotě bombardován, se plyn existující ve vnitřních pórech terče náhle uvolní, což má za následek rozstřikování velkých částic nebo částic terče nebo je materiál filmu bombardován. sekundárními elektrony po vytvoření filmu, což má za následek rozstřik částic.Vzhled těchto částic sníží kvalitu filmu.Aby se zmenšily póry v pevné látce terče a zlepšila se výkonnost filmu, je obecně požadováno, aby měl rozprašovací terč vysokou hustotu.U molybdenového naprašovacího terče by jeho relativní hustota měla být vyšší než 98 %.
5. Vázání terče a podvozku
Obecně platí, že molybdenová naprašovací elektroda musí být před naprašováním spojena s bezkyslíkatým měděným (nebo hliníkovým a jinými materiály) šasi, aby tepelná vodivost terče a šasi byla během procesu naprašování dobrá.Po navázání musí být provedena ultrazvuková kontrola, aby se zajistilo, že plocha, která se neslepí, je menší než 2 %, aby byly splněny požadavky na vysokovýkonné naprašování bez odpadávání.
Čas odeslání: 19. července 2022