Jak všichni víme, existuje mnoho specifikací naprašovacích terčů a jejich oblasti použití jsou také velmi široké.Typy terčů běžně používané v různých oblastech se také liší.Dnes se seznámíme s klasifikací aplikačních polí naprašovacího cíle pomocí editoru RSM!
1、 Definice rozprašovacího terče
Naprašování je jednou z hlavních technologií přípravy tenkovrstvých materiálů.Využívá ionty produkované zdrojem iontů k urychlení a shromažďování ve vakuu k vytvoření vysokorychlostního iontového paprsku, který bombarduje pevný povrch a ionty si vyměňují kinetickou energii s atomy na pevném povrchu, takže atomy na pevném povrchu povrch se oddělí od pevné látky a uloží se na povrch substrátu.Ostřelovaná pevná látka je surovinou pro přípravu tenkého filmu naneseného naprašováním, který se nazývá naprašovací terč.
2、 Klasifikace aplikačních polí naprašovacích terčů
1. Polovodičový terč
(1) Společné cíle: společné cíle v této oblasti zahrnují kovy s vysokým bodem tání, jako je tantal / měď / titan / hliník / zlato / nikl.
(2) Použití: používá se hlavně jako klíčové suroviny pro integrované obvody.
(3) Požadavky na výkon: vysoké technické požadavky na čistotu, velikost, integraci atd.
2. Cíl pro plochý displej
(1) Společné cíle: společné cíle v této oblasti zahrnují hliník / měď / molybden / nikl / niob / křemík / chrom atd.
(2) Použití: tento druh terče se většinou používá pro různé typy velkoplošných filmů, jako jsou televizory a notebooky.
(3) Požadavky na výkon: vysoké požadavky na čistotu, velkou plochu, jednotnost atd.
3. Terčový materiál pro solární článek
(1) Společné cíle: hliník / měď / molybden / chrom / ITO/Ta a další cíle pro solární články.
(2) Použití: používá se hlavně v „okenní vrstvě“, bariérové vrstvě, elektrodě a vodivém filmu.
(3) Požadavky na výkon: vysoké technické požadavky a široký rozsah použití.
4. Cíl pro ukládání informací
(1) Společné cíle: společné cíle pro kobalt / nikl / feroslitina / chrom / telur / selen a další materiály pro ukládání informací.
(2) Použití: tento druh cílového materiálu se používá hlavně pro magnetickou hlavu, střední vrstvu a spodní vrstvu optické jednotky a optického disku.
(3) Požadavky na výkon: je vyžadována vysoká hustota úložiště a vysoká přenosová rychlost.
5. Cíl pro úpravu nástroje
(1) Společné cíle: společné cíle, jako je slitina titanu / zirkonu / chromu a hliníku upravená nástroji.
(2) Použití: obvykle se používá pro zpevnění povrchu.
(3) Požadavky na výkon: vysoké požadavky na výkon a dlouhá životnost.
6. Terče pro elektronická zařízení
(1) Společné cíle: společné terče z hliníkové slitiny/silicidů pro elektronická zařízení
(2) Účel: Obecně se používá pro tenkovrstvé rezistory a kondenzátory.
(3) Požadavky na výkon: malá velikost, stabilita, nízký teplotní koeficient odporu
Čas odeslání: 27. července 2022