Technický konzultant RSM se s vámi podělí o výhody válcových a planárních magnetronových naprašovacích terčů?Ve srovnání s jinými magnetronovými naprašovacími terči si válcové a rovinné magnetronové naprašovací terče zachovávají výhody dobré rovnoměrnosti povlaku pravoúhlých planárních terčů a mohou maximalizovat využití terčů následujícími dvěma způsoby:
(1) Když dvě skupiny (čtyři) prstencových jamek na povrchu terče dosáhnou určité hloubky, lze jádro terče (část magnetu) otočit o 45° vzhledem k trubici terče, takže ostatní oblasti na trubici terče které nejsou zkorodované, lze použít;
(2) Pokud je jádro terče válcového a planárního magnetronového naprašovacího terče navrženo jako rotační jádro terče (jádro terče se při naprašování otáčí), lze povrch terče rovnoměrně odprašovat vrstvu po vrstvě bez důlků.V tomto okamžiku bude terč využíván nejúčinněji a míra využití terče může dosáhnout 50 % ~ 60 % Pokud je materiál terče drahý kov, má to samozřejmě velký význam.
Použitím principu magnetu s pólovou patkou v koaxiálním válcovém magnetronovém rozprašovacím terči k vyřešení problému koncového magnetického pole lze pravoúhlý rovinný terč přeměnit na válcový a rovinný magnetronový naprašovací terč, terč může maximalizovat míru využití terče při zachování dobré rovnoměrnosti povlaku pravoúhlého rovinného terče, aby se zlepšily ekonomické výhody.
Čas odeslání: Červenec-04-2022