CrAlSi Alloy naprašovací terč Vysoce čistý tenký film Pvd povlak vyrobený na zakázku

Výroba chroniových hliníkových silikonových naprašovacích terčů zahrnuje následující kroky:
1.Vakuové tavení křemíku, hliníku a chronia za účelem získání stupňovitých slitin.
2.Mletí a míchání prášku.
3. Ošetření izostatickým lisováním za horka pro získání naprašovacího terče z chromové slitiny hliníku a křemíku.
Chronium Aluminium Silicon Sputtering Targets jsou široce používány v řezných nástrojích a formách, a to díky jejich odolnosti proti opotřebení a odolnosti proti oxidaci při vysokých teplotách, které zlepšují výkonnost filmu.
Během procesu PVD CrAlSi terčů by se vytvořila amorfní fáze Si3N4.Díky začlenění amorfní fáze Si3N4 bylo možné omezit růst velikosti zrna a zlepšit odolnost vůči oxidaci při vysokých teplotách.